نظام Siansonic لترسيب الأغشية الرقيقة بالرش الحراري فوق الصوتي

يقوم نظام الرش الحراري فوق الصوتي من Siansonic بتفتيت محلول السلائف إلى قطيرات دقيقة ذات توزيع حجمي ضيق بواسطة فوهة فوق صوتية، ثم ينقل الهباء الناتج إلى ركيزة مسخّنة حيث يؤدي تبخر المذيب والتحلل الحراري إلى تكوّن غشاء متصل. وتتيح منصة الحركة XY القابلة للبرمجة، ومعدل التغذية المضبوط بمضخة حقن، ودرجة حرارة الركيزة القابلة للتعديل تحكماً قابلاً للتكرار في سماكة الغشاء وتجانسه. يُستخدم النظام لترسيب أكاسيد المعادن والأكاسيد الموصلة الشفافة والطبقات الحفّازة وطبقات الاستشعار على الزجاج والسيليكون والزجاج المطلي بـ FTO/ITO والرقائق المعدنية والركائز الخزفية. وبوصفه طريقة لا تحتاج إلى تفريغ ومنخفضة التكلفة وقابلة للتوسع إلى مساحات كبيرة، فإنه يدعم أعمال البحث والتطوير في الخلايا الكهروضوئية وحساسات الغازات وتخزين الطاقة والطلاءات الواقية.