ترسيب الأغشية الرقيقة: CVD والتحلل الحراري بالرذاذ والطلاء بالدوران

تجمع خدمة ترسيب الأغشية الرقيقة ثلاث طرق متكاملة. ينمّي نظام CVD للأغشية الرقيقة والمواد النانوية الغرافين وأنابيب الكربون النانوية وأكاسيد المعادن وغيرها من الطبقات الوظيفية على الركائز تحت تدفق غازي مضبوط عند درجات حرارة عالية. ويرذّذ نظام التحلل الحراري بالرذاذ فوق الصوتي Siansonic محلول السلائف فوق صوتياً على ركيزة مسخَّنة، مما يتيح طلاء مساحات كبيرة بتكلفة منخفضة للأكاسيد الموصلة الشفافة وTiO₂ الضوئي التحفيزي وZnO والأغشية من نوع البيروفسكايت. وينتج جهاز الطلاء بالدوران Laurell WS-650 طبقات متجانسة بتحكم في السماكة بمستوى النانومتر من تشتتات سول-جل والبوليمرات والجسيمات النانوية. تجيب الخدمة عن كيفية ارتباط السماكة والتجانس المستهدفين والتصاق الغشاء والطور البلوري والموصلية بمعاملات العملية، وما إذا كانت الوصفة مُتحققاً منها قبل التوسع؛ ويمكن توصيف الأغشية بالمقاومة السطحية وXRD ورامان وSEM. وتخدم مؤسسات الخلايا الكهروضوئية والمستشعرات والطلاءات البصرية والإلكترونيات والطاقة إضافة إلى المجموعات الأكاديمية.